去年11月15日,中美两国签订了中国加入世贸组织的双边协定,中国去年的GDP达到1.19万亿美元,只占美国GDP的12.1%、日本的24.9%,按照全球经济总量的排名来看,中国位居全球第七,排在意大利之后。
美国的头号对手还是全球经济老二的日本,继续打压日本的半导体产业。
虽然鲲鹏软件集团在全球软件市场占据20%的市场份额,但还没有对美国软件产业造成实际性的威胁,美国商务部也不容许微软公司垄断美国软件市场。
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美国曙光投资公司(ATIC)控股的GCA成了同尼康半导体公司并驾齐驱的光刻机龙头企业,研发的90nm制程工艺光刻机已经量产,但在65nm制程工艺上都遇到了无法克服的困难。
尼康光刻机研究院和GCA光刻机研究院采用ArF 193nm光源,研发一年多,毫无进展。
业界普遍认为193nm光刻无法延伸到65nm制程工艺,而157nm将成为主流光源技术,但157nm光刻技术同样遭遇到了来自光刻机透镜的巨大挑战。
业界对下一代光刻机的发展提出了两种路线,一是以尼康和佳能等日本光刻机半导体企业,主张开发波长更低的157nm的F2准分子激光做为光源;二是GCA和英特尔发起建立了EUV LLC联盟,采用极紫外光源(EUV)来提供波长更短的光源。
EUV LLC联盟中除了GCA、英特尔和牵头的美国能源部以外,还有摩托罗拉、AMD、IBM,以及能源部下属三大国家实验室:劳伦斯利弗莫尔国家实验室、桑迪亚国家实验室和劳伦斯伯克利实验室。
GCA光刻机半导体研究院院长兼任光刻机光源研究所所长汤普森院士从1993年7月开始研发EUV,GCA前后投资了1.5亿美元,也没有取得成功,1997年7月自动放弃了研究。
1997年10月,汤普森院士出面邀请英特尔和美国能源部共同开发EUV。
前世,英特尔邀请尼康和ASML加入EUV LLC联盟,但美国政府反对尼康加入,ASML做出多重承诺后才得到这个千载难遇的机会,资金到位,技术入场,人才云集,EUV LLC联盟也花了近20年的时间,第一台可量产的ASML EUV样机才正式发布。